Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе /
| Основен автор: | Папков, Владимир Сергеевич |
|---|---|
| Други автори: | Цыбульников, Марк Борисович |
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Москва :
Энергия,
1979.
|
| Физически характеристики: |
88 с. : илл. ; 20 см. |
|---|---|
| Библиография: |
Библиогр. с. 85-88 |