Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
Основен автор: | Папков, Владимир Сергеевич |
---|---|
Други автори: | Цыбульников, Марк Борисович, Малинин, Андрей Юрьевич (редактор) |
Формат: | Книга |
Език: | Russian |
Публикувано: |
Москва
Энергия
1979
|
Налични СУ-УБ Библиотека Физика | Сигнатура: |
II15211 |
---|