Генериране и отстраняване на дефекти в МОС структури при обработка във високочестотна плазмена среда : Дис. /
| Основен автор: | Секереш, Анна Мария |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian |
| Публикувано: |
София :
БАН,
1985.
|
| Предмети: |
| Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
DS-472-1986 |
|---|