Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie /
| Основен автор: | Schulz, M. |
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| Формат: | Статия |
| Език: | German |
| Публикувано: |
Karlsruhe :
Forschungszentrum Karlsruhe,
2003.
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| Серия: |
Wissenschaftliche Berichte. FZKA. Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz - Gemeinschaft.
no 6901 |
| Предмети: |
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