Характеризиране на дефектите създадени чрез високочестотна плазмена обработка и йонна имплантация в MOS структури : Дис. /
| Основен автор: | Юруков, Иван Спасов |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian |
| Публикувано: |
София :
БАН. Институт по физика на твърдото тяло,
2004.
|
| Предмети: |
| Физически характеристики: |
135 с. ; 30 см. + автореф. 72 с. на бълг. и англ. ез. |
|---|---|
| Библиография: |
Библиогр. с. 127-131 с. |