Кинетика и механизм термического окисления кремния /
| Основен автор: | Анохин, Валентин Захариевич |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Воронеж :
Воронежский государственный университет,
1983.
|
| Налични ИЯИЯЕ | Сигнатура: |
11013 |
|---|