Чистота в производстве полупроводниковых приборов в интегральных схем /
| Основен автор: | Голото, Иван Данилович |
|---|---|
| Други автори: | Докучаев, Борис Павлович, Колмогоров, Георгий Дмитриевич |
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Москва :
Энергия,
1975.
|
| Налични ИЯИЯЕ | Сигнатура: |
10701 |
|---|