Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии /
| Автор-организации: | Академия наук СССР Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе |
|---|---|
| Други автори: | Гук, Е. Г., Ельцов, А. В., Шуман, Вальтер, Юрре, Т. А. |
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Ленинград :
Наука,
1984.
|
| Предмети: |
| Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
III 135352 |
|---|