Физические основы быстрой термообработки : Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия /
| Основен автор: | Анищик, Виктор Михайлович. |
|---|---|
| Други автори: | Горушко, В. А., Пилипенко, В. А., Пономарь, В. Н., Понарядов, В. В., Ухов, В. А., Чигирь, Г. Г. |
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian Russian |
| Публикувано: |
Минск :
Белорусский государственный университет,
2002.
|
| Предмети: |
| Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
III 210168 |
|---|