Chemische Dampfablagerung : CVD-Grundlagen für die Mikroelektronik /
| Основен автор: | Arnold, Heinrich |
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| Формат: | Книга |
| Език: | German |
| Публикувано: |
Berlin :
Akademie Verlag Berlin,
1982.
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| Предмети: |
| Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
III 128056 |
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