Эллипсометрия : Теория, методы, приложения /
| Автор-организации: | Академия наук СССР. Сибирское отделение Институт физики полупроводников |
|---|---|
| Други автори: | Свиташев, К. К. (ред.), Мардежов, А. С. (ред.) |
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Новосибирск :
Наука,
1991.
|
| Предмети: |
| Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
III 183732 |
|---|