Фотолитография и оптика /
| Други автори: | Федотов, Яков Андреевич (ред.), Пол, Г. (ред.) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Москва :
Советское радио,
1974.
|
| Предмети: |
| Физически характеристики: |
392 с. : табл. ; 21 см. |
|---|---|
| Библиография: |
Библиогр след всяка статия |