Обработка поверхности полупроводниковых приборов /
| Основен автор: | Файнштейн, Семен М. |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Москва :
Энергия,
1966.
|
| Физически характеристики: |
256 с. : илл., табл., сх. ; 21 см. |
|---|---|
| Библиография: |
Библиогр. с. 248-256 |