Елипсометрично изследване на слоеве от AIN, получени чрез импулсно-лазерно отлагане :
Основен автор: | Бакалова, Силвия Димитрова |
---|---|
Формат: | Статия |
Език: | Bulgarian |
Публикувано: |
София :
Акад. изд. проф. Марин Дринов,
2005.
|