Нанасяне на тънки слоеве с йонно разпрашване - физически проблеми и приложения : Дис. /
Основен автор: | Петров, Иван Г. |
---|---|
Формат: | Книга |
Език: | Bulgarian |
Публикувано: |
София :
БАН,
1985.
|
Предмети: |
Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
DS-361-1986 |
---|