Изследване влиянието на някои плазмени обработки върху мос структури посредством уточнена статична методика : Дис. /
| Основен автор: | Александрова, Сашка П |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian |
| Публикувано: |
София :
Изд. на БАН,
1980.
|
| Предмети: |
| Физически характеристики: |
168 с. ; 29 см. + Автореф. 45 с. |
|---|