Върху някои проблеми на вакуумните устройства и методи за нанасяне и структуриране на тънки слоеве : Дис. /
Основен автор: | Дончев, Тодор Иванов |
---|---|
Формат: | Книга |
Език: | Bulgarian |
Публикувано: |
София :
БАН,
1996.
|
Предмети: |
Физически характеристики: |
131 с. ; 29 см. + Автореф. 36 с. |
---|