Plasmaaktivierte Gasphasenabscheidung duenner Palladium Platin und Goldfilme aus metallorganischen Verbindungen Diss. zur ... der Fak. fuer Chemie und Pharmazie der Eberhard-Karls-Univ. zu Tuebingen
Основен автор: | Feurer, Ernst Josef |
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Формат: | Книга |
Език: | German |
Публикувано: |
Tuebingen
1987
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