Plasma induzierte Abscheidung duenner Schichten aus einigen metallorganischen Verbindungen Diss. zur...der Fak. fuer Chemie und Pharmazie der Eberhard-Karls-Univ. zu Tuebingen
| Основен автор: | Oehr, Christian |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | German |
| Публикувано: |
[Tuebingen]
1987
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