Изследване на микроелектронни структури и компоненти с електронна Оже спектроскопия : Дисертация, представена за присъждане на образователната и научнас тепен "Доктор" /
| Основен автор: | Спасов, Георги Спасов |
|---|---|
| Други автори: | Таков, Т. (науч. ръководител) |
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian |
| Публикувано: |
София,
2006
|
| Предмети: |
| Описание на библ. документ: |
Защитена пред Специализиран научен съвет по електронна и компютърна техника при ВАК Научна специалност "Микроелектроника", 02.20.02 |
|---|---|
| Физически характеристики: |
155 с. : с ил. ; 30 см |
| Библиография: |
Библиогр. с. 133 - 145 |