Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков /
| Основен автор: | Осипов, Кирилл Афанасьевич |
|---|---|
| Други автори: | Фолманис, Гундар Эдуардович |
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Москва :
Наука,
1973.
|
| Предмети: |
| Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
III-72673 |
|---|