Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков /
Основен автор: | Осипов, Кирилл Афанасьевич |
---|---|
Други автори: | Фолманис, Гундар Эдуардович |
Формат: | Книга |
Език: | Russian |
Публикувано: |
Москва :
Наука,
1973.
|
Предмети: |
Физически характеристики: |
88 с. : илл. ; 21 см. |
---|---|
Библиография: |
Библиогр. с. 82-85 |