Плазменная технология в производстве СБИС /
| Други автори: | Айнспрук, Н (ред.), Браун, Д (ред.), Золотарев, Ю. М. (перев.) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Москва :
Мир,
1987.
|
| Предмети: |
| Налични ИЯИЯЕ | Сигнатура: |
10546 |
|---|