Плазменная технология в производстве СБИС /
| Други автори: | Айнспрук, Норман Г. (ред.), Браун, Дейл М. (ред.), Золотарев, Ю. М. (прев.), Юдин, В. В. (прев.) |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian English |
| Публикувано: |
Москва :
Мир,
1987
|
| Предмети: |
| Провери в БИЦ - Хранилище | Сигнатура: |
22020 |
|---|