Високодозова йонна имплантация в Si и GaAs : Дис. /
Основен автор: | Будинов, Хенри Иванов |
---|---|
Формат: | Книга |
Език: | Bulgarian |
Публикувано: |
Ботевград :
Институт по микроелектроника и оптоелектроника,
1990.
|
Предмети: |
Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
DS-103-1991 |
---|