Нанасяне на тънки въглеродни слоеве с магнетронно разпрашване и изследване на техните физически свойства : Дис. /
| Основен автор: | Иванов, Иван Петров |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian |
| Публикувано: |
София :
БАН,
1989.
|
| Предмети: |
| Описание на библ. документ: |
Защитена в БАН. СНС по физична електроника и радиофизика |
|---|---|
| Физически характеристики: |
156 с. : диагр., сх. ; 30 см. + Автореф. 31 с. |
| Библиография: |
Библиогр. в края на текста |