Аморфизация и кристализация на монокристален силиций при имплантация с ускорени тежки йони : Дис. /
| Основен автор: | Ангелов, Христо Въчков |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian |
| Публикувано: |
София :
БАН,
1999.
|
| Предмети: |
| Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
DS-122-2002 |
|---|