Аморфизация и кристализация на монокристален силиций при имплантация с ускорени тежки йони : Дис. /
| Основен автор: | Ангелов, Христо Въчков |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Bulgarian |
| Публикувано: |
София :
БАН,
1999.
|
| Предмети: |
| Физически характеристики: |
151 с. ; 30 см. |
|---|