Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике /
| Основен автор: | Борисенко, Александр Иванович |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Ленинград :
Наука,
1972.
|
| Предмети: |