Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике /
| Основен автор: | Борисенко, Александр Иванович |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Ленинград :
Наука,
1972.
|
| Предмети: |
| Физически характеристики: |
115 с. : ил. ; 20 см. |
|---|---|
| Библиография: |
Библиогр. с. 107-113. |