Диэлектические пленки в твердотельной микроэлектронике /
Основен автор: | Румак, Николай В |
---|---|
Автор-организации: | Академия наук Белорусской ССР Физико-технический институт |
Други автори: | Хатько, В. В |
Формат: | Книга |
Език: | Russian |
Публикувано: |
Минск :
Навука i тэхнiка,
1990.
|
Предмети: |
Налични ЦБ-БАН | Сигнатура: |
III 187351 |
---|