Диэлектические пленки в твердотельной микроэлектронике /
| Основен автор: | Румак, Николай В |
|---|---|
| Автор-организации: | Академия наук Белорусской ССР Физико-технический институт |
| Други автори: | Хатько, В. В |
| Формат: | Книга |
| Език: | Russian |
| Публикувано: |
Минск :
Навука i тэхнiка,
1990.
|
| Предмети: |
| Физически характеристики: |
191 с. : с табл., сх. ; 20 см. |
|---|---|
| ISBN: |
5343005403 |